三坐標即三坐標測量機，英文CoordinateMeasuringMachine，縮寫CMM，它是指在三維可測的空間范圍內，能夠根據測頭系統返回的點數據，通過三坐標的軟件系統計算各類幾何形狀、尺寸等測量能力的儀器，又稱為三次元、三坐標測量機、三坐標測量儀。東京 XYZAX系列 精密三坐標測量機 東京 XYZAX系列 精密三坐標測量機
XYZAX RVF 系列
是一種融合卡爾蔡司公司的控制器與東京精密的硬件的測量機
標準配置帶觸摸屏功能的彩色LCD 顯示器，通過AI 功能讓新手也可輕松操作
在Z 軸上標準配置結束開關，可手不離開Z軸持續地進行測量（zhuan利）
XYZAX mju NEX
是一種搭載混合導軌技術，實現穩定的測量精度與節能的三坐標測量機
備有計算機一體化機型，進一步實現空間節省
XYZAX SVA NEX 系列
提高了精度保證技術測量精度可達E0, MPE（μｍ） = 1.8 + 4 L/1000 μm（SVA NEX 7/5/5 ～ 9/10/6）
標準配置溫度補償功能，提高耐環境性
使用多彩的軟件提高測量數據的評價功能，通過標配的AI 功能，實現簡單的操作
XYZAX FUSION NEX 系列
搭載VAST XT 主動掃描測針
保證測量精度（MPEE=1.6 ＋ 3L/1000μm）、掃描精度（MPETHP=2.1μm）
即使是日本*次使用在實際工件上的長度300mm的測針也能保證掃描精度
XYZAX SVA Fusion 機型為廣大用戶帶來世界著名的Carl Zeiss掃描技術
東京精密和Carl Zeiss技術的融合
XYZAX 機型與世界wei一的動態掃描技術相結合。機器所使用的Calypso 測量程序和AI智能識別功能（東京精密已申請了國際zhuan利），使得任何人都能輕松的完成掃描測量。
VAST測頭是一款動態掃描的測頭在保持測力方向與法線方向（與測量面垂直）相同的同時，保證了測力的恒定，這種功能目前只有通過Carl Zeiss的動態掃描技術才可以實現。這被稱為實時掃描技術。
測量精度與新的JIS規格相對應(JIS B 7440-2 2003)。測量精度可以保證在MPEE=1.9+4L/1000μm。 實測值參照下面的數據。確保掃描精度為MPETHP=2.8μm。 多種測量配件可以滿足客戶提出的特殊需求，在標準配置的測針上增加300mm的測量延長桿，仍能保證MPETHP=5.8μm的精度。
XYZAX SVA-A 機型
與ZEISS技術相結合的新型CNC 三坐標測量機。
空間精度補償技術大大的提高了測量精度。AI智能識別系統、溫度補償可根據環境溫度進行精度修正。使機器具有更強的環境適應性。
該CNC機型為Carl Zeiss公司控制技術與東京精密公司硬件技術的*結合
Carl Zeiss公司的控制系統，有效的縮短了測量的時間。使機器的測量時間縮短了30%（與本社機器之前測量速度相比）。
AI功能可以智能識別測量形狀。大大簡化了操作者輸入的工作量，使初學者也能方便的操作。
標準配備的溫度補償，讓機器在16~26℃仍能正常測定，可有效的減少空調的使用量。
XYZAX RVF-A AI智能識別結合了簡單操作的機型。
該機器結合了Carl Zeiss公司控制技術與東京精密公司硬件技術，標準配備了可觸摸LCD顯示器，使初學者也能進行簡單的操作
標準配備帶有觸摸功能的LCD顯示器，方便了操作者的測量。
利用了帶有彈簧的高剛性臺面，從兩側進行導向。（已取得zhuan利）
X和Z軸導軌，采用了長時間測量仍不易變形的輕質合金材料。
X、Y、Z軸都裝有微調需旋鈕，使用者可以控制各軸的微小移動。
Z軸配有確認按鈕，使測量者可以雙手不離開Z軸持續測量。（zhuan利申請中）